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硅烷尾气处理装置
申请人信息
- 申请人:芯联集成电路制造股份有限公司
- 申请人地址:312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号
- 发明人: 芯联集成电路制造股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 硅烷尾气处理装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323412252.9 |
| 申请日 | 2023/12/14 |
| 公告号 | CN222086036U |
| 公开日 | 2024/11/29 |
| IPC主分类号 | F23G7/06 |
| 权利人 | 芯联集成电路制造股份有限公司 |
| 发明人 | 陈康超; 王毅; 张鹏波 |
| 地址 | 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号 |
摘要文本
芯联集成电路制造股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种硅烷尾气处理装置，包括：燃烧箱和过滤单元；所述过滤单元包括过滤通道、滤网以及抽吸装置，所述过滤通道的一端与所述燃烧箱的内腔连通，所述过滤通道的另一端与所述抽吸装置的进气端连通，所述滤网设置有多个，各所述滤网沿过滤通道的走向方向排列设置于所述过滤通道内，由靠近所述燃烧箱的一侧至靠近所述抽吸装置的一侧，各所述滤网的网孔孔径依次变小。该硅烷尾气处理装置将燃烧产生的明火限定在燃烧腔内，且通过多层滤网，能安全高效地处理硅烷尾气，减少尾气自燃产生的黄色烟雾及明火排放。 （）
专利主权项内容
。1.一种硅烷尾气处理装置，其特征在于，包括：燃烧箱和过滤单元；
所述燃烧箱内具有燃烧腔，所述燃烧箱上设置有与所述燃烧腔连通的进气口；
所述过滤单元包括过滤通道、滤网以及抽吸装置，所述过滤通道的一端与所述燃烧箱的内腔连通，所述过滤通道的另一端与所述抽吸装置的进气端连通，所述抽吸装置用于通过过滤通道抽吸所述燃烧腔内的气体；
所述滤网设置有多个，各所述滤网沿过滤通道的走向方向排列设置于所述过滤通道内；
由靠近所述燃烧箱的一侧至靠近所述抽吸装置的一侧，各所述滤网的网孔孔径依次变小。