一种用于硅料热破的防护结构

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江苏鑫华半导体科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及硅原料棒破碎技术领域，尤其涉及一种用于硅料热破的防护结构，包括外层的石英隔离室和内层的高纯石英隔离层，石英隔离室内设有第一容纳空间，第一容纳空间内设有支撑件，用于对硅原料棒支撑；高纯石英隔离层包括两侧的高纯石英件和顶部的高纯石英板，两个高纯石英件分别与支撑件两侧连接，高纯石英件和高纯石英板围设成第二容纳空间，第二容纳空间将硅原料棒包围；高纯石英隔层在保证电子级多晶硅原料棒破碎热辐射的正常传热过程，阻止石英隔离层中的杂质离子扩散至硅原料棒表面，减小后端酸洗工艺的处理难度，从而保证电子级多晶硅原料棒的表面杂质水平，同时提高加热装置对硅原料棒的处理能力。