基于尺寸形貌变化的检测装置

专利主权项内容

1.一种基于尺寸形貌变化的检测装置，其特征在于，包含位移触发元件(100)与传感组件(200)，被测元件(500)包含被测表面，所述位移触发元件(100)与被测表面相对设置，位移触发元件(100)与被测表面接触或不接触；所述被测元件(500)与位移触发元件(100)之间能够相对运动，被测表面尺寸和/或形貌的变化能够引起位移触发元件(100)的运动；所述位移触发元件(100)与传感组件(200)相连；或者，所述位移触发元件(100)构成传感组件(200)的组成部件；传感组件(200)包含第一电荷载体(240)；所述位移触发元件(100)包含第二电荷载体(122)，被测元件(500)包含第三电荷载体(520)；在被测元件(500)的尺寸和/或形貌变化方向上，第一电荷载体(240)、第二电荷载体(122)、第三电荷载体(520)这三个电荷载体依次布置；第二电荷载体(122)为弹性件，第一电荷载体(240)与第三电荷载体(520)为刚性件。