一种电子器件结温的测量方法和装置

专利主权项内容

1.一种电子器件结温的测量装置，其特征在于，包括计算机控制系统、激光发射器、光分离器、透镜、第一反射镜、第二反射镜、压力室、控温平台、器件夹具、数字全息照相机，压力室的至少一面为光窗，控温平台、器件夹具位于压力室内，器件夹具固定在控温平台上，器件固定在器件夹具上，其中激光发射器、光分离器、透镜、第一反射镜、第二反射镜、器件进行光路连接，激光发射器发出激光经光分离器得到透射光和反射光，反射光作为参考激光束进入数字全息照相机，透射光经过透镜分为多束入射激光，多束入射激光入射到第一反射镜上，然后再经压力室的光窗反射到器件上作为器件的入射光，然后经器件后再反射到第一反射镜上，经第一反射镜反射后入射到第二反射镜上，经第二反射镜再反射后进入到数字全息照相机，数字全息照相机、激光发射器和控温平台均与计算机控制系统连接；器件夹具用于固定器件，器件夹具上设有弹性接触热电偶与器件连接，用于测定器件壳温；激光发射器、光分离器、透镜、第一反射镜、第二反射镜、数字全息照相机组成激光干涉仪；器件夹具包括两部分：上部分为夹具安装面，下部分为夹具底座，夹具的整体材料均为紫铜；夹具安装面是夹具与器件的主接触面，夹具安装面上表面中间有一弹性接触热电偶，以满足对安装在夹具安装面上器件的壳温进行测量；在夹具安装面上设有与器件引出端位置和数量对应的通孔A，以方便对器件正常加电；同时在夹具安装面上还设有螺孔，满足器件的安装，以使夹具安装面上表面的器件和夹具紧密接触；夹具底座为底盘上带有一凸出向上的桶状结构，桶状轴垂直底盘，夹具安装面固定到桶状结构顶端；采用桶状结构中空的目的是方便夹具安装面上热电偶与器件引出端尾部的安放，在桶状结构顶部设有一个豁口，通过该豁口可以把热电偶和器件的连接线正常引出；夹具底座底部为一整体的铜块；底盘设有一些螺孔A，这些螺孔A是用于把夹具紧密安装在控温平台上；夹具安装面上还设有通孔B，桶状结构的桶壁顶部设有螺孔B与夹具安装面上的通孔B对应，利用螺钉把夹具安装面和夹具底座安装在一起。