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储液罐及薄膜沉积设备
申请人信息
- 申请人:拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
- 申请人地址:110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
- 发明人: 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 储液罐及薄膜沉积设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323569259.1 |
| 申请日 | 2023/12/26 |
| 公告号 | CN222081418U |
| 公开日 | 2024/11/29 |
| IPC主分类号 | B65D88/74 |
| 权利人 | 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 赵吉蛟; 张晓玉; 野沢俊久 |
| 地址 | 辽宁省沈阳市浑南区水家900号 |
摘要文本
本实用新型提供了一种储液罐及一种薄膜沉积设备。所述储液罐包括罐体、加热模块、冷却模块及集成传感器。所述罐体用于容纳液态化学源。所述加热模块，设于所述罐体的第一位置，用于通过所述罐体来加热所述液态化学源。所述冷却模块设于所述罐体的第二位置，用于通过所述罐体来冷却所述液态化学源。所述集成传感器漂浮于所述储液罐中的液态化学源表面，用于分别采集所述液态化学源的液位信号及温度信号，并将所述温度信号分别传输到所述加热模块及所述冷却模块，以供其相互配合地将所述液态化学源稳定在其目标温度。本实用新型可以缩短对储存罐内液态化学源温度控制的稳定时间，以提升薄膜沉积工艺效率。
专利主权项内容
1.一种储液罐，其特征在于，包括：
罐体，用于容纳液态化学源；
加热模块，设于所述罐体的第一位置，用于通过所述罐体来加热所述液态化学源；
冷却模块，设于所述罐体的第二位置，用于通过所述罐体来冷却所述液态化学源；以及
集成传感器，漂浮于所述储液罐中的液态化学源表面，用于分别采集所述液态化学源的液位信号及温度信号，并将所述温度信号分别传输到所述加热模块及所述冷却模块，以供其相互配合地将所述液态化学源稳定在其目标温度。