一种硅片清洗机用高效传输装置

专利主权项内容

1.一种硅片清洗机用高效传输装置，包括架体(1)，其特征在于，所述架体(1)的两侧均开设有避位槽(8)，两个所述避位槽(8)内均滑动连接有收集篮(7)，两个所述收集篮(7)相对立的一侧均开设有多个卡槽(21)，所述架体(1)的顶部设有带动收集篮(7)向上移动的动力组件，所述架体(1)内位于两侧和中部的位置均转动连接有传动辊(2)，两侧的所述传动辊(2)与中部的所述传动辊(2)之间均绕接有两个传送带，所述架体(1)的一侧开设有转动槽(14)，转动槽(14)内转动连接有转动块(12)，所述架体(1)的一侧外壁固定连接有伺服电机(13)，伺服电机(13)输出轴的一端与转动块(12)相固定，其中一个靠近所述电机的所述传动辊(2)的一端固定连接有连接块(15)，且连接块(15)延伸进转动槽(14)内与转动块(12)相贴合，所述转动块(12)的一侧开设有两个滑孔(19)，两个所述滑孔(19)内均滑动连接有插块(18)，两个所述滑孔(19)内均固定连接有弹簧(16)，且弹簧(16)与插块(18)相固定，所述连接块(15)的一侧开设有多个弧型凹槽(17)，且插块(18)与弧型凹槽(17)插接。