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一种半导体槽式机及其上盖机构
申请人信息
- 申请人:江苏芯梦半导体设备有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层
- 发明人: 江苏芯梦半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半导体槽式机及其上盖机构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323628607.8 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN222064053U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | B67B3/00 |
| 权利人 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 请求不公布姓名; 请求不公布姓名 |
| 地址 | 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层 |
摘要文本
江苏芯梦半导体设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种半导体槽式机及其上盖机构。一种半导体槽式机的上盖机构，包括：安装座组件，包括安装在设备上的第一安装座和第二安装座；调节组件，包括安装在所述第一安装座上的第一调节件，所述第一调节件在外力作用下能够相对于所述第一安装座上下移动；上盖组件，包括横梁和与所述横梁连接的盖体，所述横梁的两端分别通过第一连接轴和第二连接轴与所述第一调节件、第二安装座连接；驱动组件，与所述第二连接轴连接，能够驱动所述第二连接轴转动以带动所述盖体相对于槽体转动，从而打开或关闭所述槽体。本实用新型的上盖机构可以方便地调节第一连接轴和第二连接轴的同心度，能够使盖体较好地盖合在槽体上。
专利主权项内容
1.一种半导体槽式机的上盖机构，其特征在于，包括：
安装座组件，包括安装在设备上的第一安装座和第二安装座；
调节组件，包括安装在所述第一安装座上的第一调节件，所述第一调节件在外力作用下能够相对于所述第一安装座上下移动；
上盖组件，包括横梁和与所述横梁连接的盖体，所述横梁的两端分别通过第一连接轴和第二连接轴与所述第一调节件、第二安装座连接；
驱动组件，与所述第二连接轴连接，能够驱动所述第二连接轴转动以带动所述盖体相对于槽体转动，从而打开或关闭所述槽体。