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一种清洗废液排出装置
申请人信息
- 申请人:正帆科技(湖州)有限公司
- 申请人地址:313200 浙江省湖州市德清县洛舍镇砂村区块龙头路中段(自主申报)
- 发明人: 正帆科技(湖州)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种清洗废液排出装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420715605.8 |
| 申请日 | 2024/4/9 |
| 公告号 | CN222064110U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | B67D99/00 |
| 权利人 | 正帆科技(湖州)有限公司 |
| 发明人 | 虎创业; 舒城; 孙建明 |
| 地址 | 浙江省湖州市德清县洛舍镇砂村区块龙头路中段(自主申报) |
摘要文本
正帆科技(湖州)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型属于半导体清洗技术领域,公开了一种清洗废液排出装置,包括储罐、气液分离器和呼吸阀。储罐用于存储清洗废液。气液分离器的进口与储罐的出口通过管道连接,气液分离器的出液口与液体处理设备通过输液管连接,气液分离器的出气口与气体处理设备通过输气管连接。气液分离器将清洗废液进行分离,分离后的液体进入液体处理设备进行处理排放;分离后的气体进入气体处理设备进行处理排放,避免了清洗废液挥发进入液体处理设备后直接排放到大气中,从而污染环境。呼气阀能够使储罐内外压力平衡,进而使储罐内的清洗废液顺利排出,提高工作效率。
专利主权项内容
1.一种清洗废液排出装置,其特征在于,包括:
储罐(100),用于存储清洗废液;
气液分离器(200),所述气液分离器(200)的进口与所述储罐(100)的出口通过管道连接,所述气液分离器(200)的出液口与液体处理设备通过输液管连接,所述气液分离器(200)的出气口与气体处理设备通过输气管连接;
呼吸阀(300),所述呼吸阀(300)与所述输气管并联连接。