一种石英舟退火设备

专利主权项内容

1.一种石英舟退火设备，包括石英舟退火箱(1)和石英舟预热箱(2)，其特征在于：所述石英舟退火箱(1)内壁的底部安装有燃气管(3)，且燃气管(3)的顶部连通有多个用于对石英舟加热的加热口(4)，所述石英舟退火箱(1)内部的左右两侧均设置有夹持板(5)，且夹持板(5)相向一侧的表面均开设有若干放置槽(6)，所述石英舟退火箱(1)背面的上方固定有固定板(7)，且固定板(7)的背面栓接有固定架(8)，所述固定架(8)的内部设置有用于对夹持板(5)之间间距进行调节的调位结构(9)，所述石英舟退火箱(1)的顶部嵌设有抽气罩(10)，且抽气罩(10)的顶部连通有回收管(11)，所述石英舟预热箱(2)的上方设置有余热回收结构(12)，所述石英舟预热箱(2)内壁的中部固定有用于对石英舟进行预热处理的石英舟摆放板(13)，所述石英舟预热箱(2)顶部的一侧连通有排气管(14)。