一种PVD熔射保护装置

专利主权项内容

1.一种PVD熔射保护装置，其特征在于：包括防护罩(1)和保护治具(2)，所述防护罩(1)与硅片接触，保护治具(2)安装在防护罩(1)上，对不需要进行熔射的部位进行遮蔽，保护治具(2)根据防护罩(1)上的部位进行仿形设计；所述防护罩(1)为圆环结构，防护罩(1)上设有圆环面Ⅰ(11)和圆环面Ⅱ(12)，圆环面Ⅰ(11)位于圆环面Ⅱ(12)的外侧，圆环面Ⅰ(11)为遮蔽部位；所述保护治具(2)上还设有环形挡边(3)，环形挡边(3)沿保护治具(2)上的内径圆周设置；所述环形挡边(3)直立设置在保护治具(2)的圆环面上，保护治具(2)的圆环面与防护罩(1)上的圆环面Ⅰ(11)贴合时，环形挡边(3)与圆环面Ⅰ(11)和圆环面Ⅱ(12)之间形成的台阶(13)贴合。