一种溅射台用溅射腔

专利主权项内容

1.一种溅射台用溅射腔，包括溅射腔罐体(1)，其特征在于：所述溅射腔罐体(1)的内底部设置有转台(21)，所述转台(21)的顶部靠近中间的位置固定安装有安装架(3)，所述安装架(3)的内壁之间设置有第二转轴(33)，所述第二转轴(33)的外表面滑动贯穿安装架(3)的内壁并延伸至外部，所述第二转轴(33)的外表面靠近远端的位置对称固定安装有第二带轮(34)，所述第二转轴(33)的一端固定安装有第一锥齿轮(36)，所述转台(21)的顶部靠近边缘的位置设置有第三转轴(4)，所述第三转轴(4)的外表面靠近中间的位置固定安装有从动齿轮(41)，所述从动齿轮(41)的外表面啮合连接有内齿圈(11)，所述内齿圈(11)固定安装在溅射腔罐体(1)的内壁，所述第三转轴(4)的顶端固定安装有第二锥齿轮(42)，所述第二锥齿轮(42)和第一锥齿轮(36)相啮合。