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一种晶圆镀膜用夹持治具
摘要文本
苏州苏纳光电有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶圆镀膜用夹持治具，包括第一夹持件和第二夹持件，第一夹持件设有贯穿通孔，贯穿通孔与晶圆相配合，第一夹持件和第二夹持件相连接以夹持晶圆，当第一夹持件和第二夹持件夹持晶圆在其两者之间时，第一夹持件、第二夹持件和晶圆围成一封闭的容纳空间，晶圆相对待镀膜的一面暴露在容纳空间内，贯穿通孔与容纳空间相连通，并可自贯穿通孔处对晶圆暴露的一面进行镀膜。本实用新型通过第一夹持件和第二夹持件夹持晶圆，使得晶圆的背面被夹持在封闭的容纳空间内，有效的避免划伤损坏晶圆背面的功能区，也能有效的防止外界的杂质或者镀膜时的膜料污染晶圆背面的功能区，提高晶圆镀膜的良品率，有效的提高镀膜效率。。百度搜索
专利主权项内容
1.一种晶圆镀膜用夹持治具，其特征在于，包括：第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件设有贯穿通孔，所述贯穿通孔与晶圆相配合，所述第一夹持件和所述第二夹持件相连接以夹持所述晶圆，当所述第一夹持件和所述第二夹持件夹持所述晶圆在其两者之间时，所述第一夹持件、所述第二夹持件和所述晶圆围成一封闭的容纳空间，所述晶圆相对待镀膜的一面暴露在所述容纳空间内，所述贯穿通孔与所述容纳空间相连通，并可自所述贯穿通孔处对所述晶圆暴露的一面进行镀膜。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆镀膜用夹持治具 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323618778.2 |
| 申请日 | 2023/12/28 |
| 公告号 | CN222064654U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | C23C14/50 |
| 权利人 | 苏州苏纳光电有限公司 |
| 发明人 | 谢娟; 卢建娅 |
| 地址 | 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区1幢101、102室 |