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一种硅片电镀导电吸嘴及硅片电镀装置
摘要文本
苏州晶洲装备科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于硅片电镀技术领域，公开了一种硅片电镀导电吸嘴及硅片电镀装置。硅片电镀导电吸嘴包括导电气嘴和弹性吸嘴。导电气嘴内设有第一通气腔；弹性吸嘴设置在导电气嘴的下端，弹性吸嘴内设有第二通气腔，第二通气腔与第一通气腔连通；弹性吸嘴的下端设有吸气孔，吸气孔与第二通气腔连通。通过导电气嘴吸气将弹性吸嘴压缩，使导电气嘴的底面与硅片接触。在导电气嘴通电的情况下，通过弹性吸嘴本身的可压缩性质可以缓冲导电气嘴与硅片接触时的冲击力，通过控制气源可调节两者之间的接触力度，可实现平稳接触，电连接的稳定性好。此外，在导电气嘴不通电时，可实现对硅片的平稳抓取。 关注微信公众号
专利主权项内容
1.一种硅片电镀导电吸嘴，其特征在于，包括：
导电气嘴(1)，内设有第一通气腔(111)，所述导电气嘴(1)的上端用于与气源连接；
弹性吸嘴(2)，设置在所述导电气嘴(1)的下端，所述弹性吸嘴(2)内设有第二通气腔(221)，所述第二通气腔(221)与所述第一通气腔(111)连通；所述弹性吸嘴(2)的下端设有吸气孔(231)，所述吸气孔(231)与所述第二通气腔(221)连通，通过所述导电气嘴(1)吸气能将所述弹性吸嘴(2)压缩，以使所述导电气嘴(1)的底面与硅片(100)接触。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅片电镀导电吸嘴及硅片电镀装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420752909.1 |
| 申请日 | 2024/4/12 |
| 公告号 | CN222064703U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | C25D17/06 |
| 权利人 | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 发明人 | 刘建聪; 蒋新; 施利君; 刘礼勇; 杨圣 |
| 地址 | 江苏省苏州市常熟市辛庄镇新阳大道136号 |