一种可控温区的单晶炉用热场结构及单晶炉

专利主权项内容

1.一种可控温区的单晶炉用热场结构，包括用于对坩埚(1)进行加热的加热装置(2)，其特征在于：所述加热装置(2)由上加热器(3)、下加热器(4)和底加热器(5)组成，所述上加热器(3)包括环形加热片(301)、对称的连接于所述环形加热片(301)两侧的第一接线引脚(302)，所述环形加热片(301)设在所述坩埚(1)上端、且靠近或贴合于所述坩埚(1)，所述下加热器(4)包括第一弧形加热片(6)、第二弧形加热片(7)及分别设在所述第一弧形加热片(6)、所述第二弧形加热片(7)两端的第二接线引脚(8)，所述第一弧形加热片(6)、第二弧形加热片(7)对称的设置在所述坩埚(1)下端、且靠近或贴合于所述坩埚(1)，所述底加热器(5)包括平面加热片(10)和设置在所述平面加热片(10)两端的接线部(11)，所述第一接线引脚(302)、所述第二接线引脚(8)和接线部(11)的底部均连接有电极(12)。