真空门结构及真空系统

专利主权项内容

1.一种真空门结构，其特征在于，包括：
固定法兰，与真空腔体固定连接，包括设置在横向第一侧的第一凸起和与所述第一凸起纵向相对的第二凸起，所述第一凸起包括第一纵向通孔，所述第二凸起包括第二纵向通孔；
活动法兰，包括设置在横向第一侧的多个螺纹孔；以及
浮动铰链，用于连接所述固定法兰和所述活动法兰，所述浮动铰链包括：
铰链座；
浮动纵向通孔，设置于所述铰链座上；
铰链转轴，与所述浮动纵向通孔、所述第一纵向通孔和所述第二纵向通孔配合，连接所述固定法兰和所述铰链座，所述铰链转轴的直径小于所述浮动纵向通孔的直径，在所述浮动纵向通孔和所述铰链转轴之间形成浮动间隙；以及
多个横向通孔，设置于所述铰链座上，与所述活动法兰的所述多个螺纹孔相配合，通过螺钉实现所述活动法兰和所述铰链座的连接。 来自马-克-数-据