预抽真空装置以及氦检测试设备

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正帆科技(湖州)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种预抽真空装置以及氦检测试设备，其用于在氦检装置检测待测管路之前对待测管路进行预抽真空处理；该预抽真空装置包括预抽真空泵、预抽管路和预抽控制阀，该预抽真空泵用于对待测管路进行预抽真空处理；预抽管路的第一端口连通于预抽真空泵的输出管，预抽管路的第二端口可拆卸连通于待测管路；预抽控制阀设置于预抽管路上，预抽控制阀用于打开或关闭预抽管路，以使预抽真空泵和待测管路之间连通或断开。该预抽真空装置能够协助氦检测试装置准确无误的进行测试，同时将测试周期减短，提高了工作效率，延长了氦检装置的使用寿命，确保测试结果的准确性。