一种低温放气率测量设备

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安徽万瑞冷电科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种低温放气率测量设备，包括抽空设备、插板阀、测试腔体、冷源、真空测试仪，所述抽空设备与测试腔体相连，所述抽空设备与测试腔体之间设有插板阀，所述测试腔体还连接有真空测试仪，其测试端延伸至测试腔体内，所述测试腔体还连接有冷源，所述抽空设备包括低温泵和前级泵，所述低温泵包括GM制冷机，所述冷源为GM变频制冷机。本实用新型中，通过低温泵和前级泵的设置，能够为测试腔体提供洁净的超高真空环境，通过将冷源设置为GM变频制冷机，能够实现从320K到4K的超宽温区控温，通过真空测试仪可分别测量无样品和有样品时测试腔体中的真空变化，从而测量出样品在低温下的放气率。