宽域快速的真空获取系统

专利主权项内容

1.宽域快速的真空获取系统，包括有壳体，实现初步真空度的一级真空度泵组和实现宽域深真空度的二级真空度泵组，其特征在于：壳体外侧设置有联通管道的管道连接口，下端设置有连接二级真空度泵组的二级真空度泵组连接口；
一级真空度泵组包括有前级泵，前级泵通过管道串联次级泵；
所述前级泵包括滑阀泵；
所述次级泵包括两个罗茨真空泵，称为第一罗茨真空泵和第二罗茨真空泵；
滑阀泵通过管道串联第二罗茨真空泵，第二罗茨真空泵串联第一罗茨真空泵，第一罗茨真空泵通过管道连接壳体外侧的管道连接口，依次贯通形成初步抽真空的气路通道；
二级真空度泵组包括有油扩散泵和双极旋片泵；
油扩散泵包括有吸气口和排气口；
双极旋片泵包括有吸气口；
壳体下端的二级真空度泵组连接口连接油扩散泵的吸气口，油扩散泵的排气口联通双极旋片泵的吸气口，依次贯通形成宽域深真空度的气路通道；
第一罗茨真空泵管道连接法兰和壳体管道连接口的法兰连接面上设置有环形槽，称为管道环形槽；
管道环形槽内设置有柔性金属制成的柔性金属密封环；
柔性金属密封环的一部分凸出在管道环形槽外。