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气体阀门及光刻机
申请人信息
- 申请人:北京华卓精科科技股份有限公司
- 申请人地址:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
- 发明人: 北京华卓精科科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 气体阀门及光刻机 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420646220.0 |
| 申请日 | 2024/3/29 |
| 公告号 | CN222067669U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | F16K11/04 |
| 权利人 | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 发明人 | 请求不公布姓名; 请求不公布姓名 |
| 地址 | 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团) |
摘要文本
本实用新型涉及光刻机技术领域，具体而言，涉及一种气体阀门及光刻机。气体阀门包括框架、气道歧管、柔性铰链和维稳组件；气道歧管通过柔性铰链连接于框架，柔性铰链仅允许气道歧管沿预定轨迹往复移动；框架设有多个气道口，气道歧管与框架之间存在间隙，且气道歧管能够沿预定轨迹移动至同时与两个以上的气道口相对的工位；维稳组件用于锁定处于静止状态的动子单元。光刻机包括上述气体阀门。本实用新型提供的气体阀门及光刻机，在气道歧管移动实现气体阀门的换向时，不会释放颗粒且无发热，不易污染所处环境，且有利于保证安装环境的温度稳定性，还可节省动力能源或人力；结构稳定性也较高。 （来 自 ）
专利主权项内容
1.一种气体阀门，其特征在于，包括框架(100)、气道歧管(200)、柔性铰链(300)和维稳组件(400)；
所述气道歧管(200)通过所述柔性铰链(300)连接于所述框架(100)，所述柔性铰链(300)仅允许所述气道歧管(200)沿预定轨迹往复移动；所述框架(100)设有多个气道口，所述气道歧管(200)与所述框架(100)之间存在间隙，且所述气道歧管(200)能够沿所述预定轨迹移动至同时与两个以上的所述气道口相对的工位；所述维稳组件(400)用于在非运动时段锁定所述气道歧管(200)。