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一种干法刻蚀机用真空阀
摘要文本
苏州同冠微电子有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种干法刻蚀机用真空阀，包括阀管和弹簧管，阀管第一端的端部连接有真空泵，阀管第一端的侧面连通承载腔，弹簧管滑动安装在阀管内，阀管第二端上连接有进气口；弹簧管靠近阀管第一端的端部上固定有第一阻隔片，进气口进气推动弹簧管在阀管内运动，并利用第一阻隔片阻断真空泵和承载腔的连通。阀管分别和真空泵、承载腔连通，真空泵用来抽承载腔内的空气至设备外。而进气口进气或者关闭状态，可以在阀管内形成气压并推动弹簧管在所述阀管内水平滑动。进气口充气到所述阀管内推动所述弹簧管的水平滑动方式增大了弹簧管水平伸缩运动幅度，确保阻断所述真空泵和所述承载腔连通的问题，密封更加严实。 微信公众号
专利主权项内容
1.一种干法刻蚀机用真空阀，其特征在于，包括阀管(1)和弹簧管，所述阀管第一端(2)的端部连接有真空泵(3)，所述阀管第一端(2)的侧面连通承载腔(4)，所述弹簧管滑动安装在所述阀管(1)内，所述阀管第二端(14)上连接有进气口；所述弹簧管靠近所述阀管第一端(2)的端部上固定有第一阻隔片(5)，所述进气口进气推动所述弹簧管在所述阀管(1)内运动，并利用所述第一阻隔片(5)阻断所述真空泵(3)和所述承载腔(4)的连通。。来源：百度马 克 数据网
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种干法刻蚀机用真空阀 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420163206.5 |
| 申请日 | 2024/1/23 |
| 公告号 | CN222067746U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | F16K31/122 |
| 权利人 | 苏州同冠微电子有限公司 |
| 发明人 | 孙人杰; 李承浩; 徐惠懂; 王炜; 尹锺晚; 金恩泽 |
| 地址 | 江苏省苏州市张家港经济技术开发区新丰东路3号 |