复合CF法兰以及半导体工艺腔体

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昆山新莱洁净应用材料股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术， （来自 ） 。本实用新型属于法兰技术领域，公开了一种复合CF法兰以及半导体工艺腔体，复合CF法兰包括第一法兰以及第二法兰，第一法兰能够焊接于基体的开口处，第一法兰的材质与基体的材质相同；第二法兰叠合于第一法兰的一侧，第二法兰与第一法兰同轴设置，第二法兰的材质为抗腐蚀金属，第二法兰与第一法兰固定连接；第二法兰背离第一法兰的表面设置有密封腔，密封腔内部设置有环刃，环刃与第二法兰同轴设置，环刃的刃口背离第一法兰设置。本实用新型的复合CF法兰，选用跟基体的材质相同的第一法兰稳定焊接于基体上，同时利用抗腐蚀金属制成的第二法兰提升复合CF法兰的耐腐蚀性能，大幅提升了复合CF法兰的工作稳定性，确保超高真空系统正常运行。