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一种立式扩散炉尾气处理装置

申请号: CN202420521313.0
申请人: 潍坊芯微电子设备有限公司
更新日期: 2026-04-22

摘要文本

潍坊芯微电子设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种立式扩散炉尾气处理装置,其包括扩散炉本体,所述扩散炉本体通过管道连接有输送管,所述输送管的一端固定安装有风机,所述输送管通过风机连接有压缩机。该一种立式扩散炉尾气处理装置,本实用新型通过扩散炉本体、输送管、风机、压缩机、尾气存储罐、活性炭吸附组件、密封插槽、T形密封板、连接杆、电动伸缩杆、活动板、第一密封塞、进气孔和活动杆的配合使用,在该装置中,输送管上的机械结构被安装于输送管的外部,而不是直接暴露在尾气中。这种设计确保了在尾气处理过程中,输送管上的机械结构不与尾气直接接触,由于机械结构不与高温尾气直接接触,它们免受高温环境对材料和组件的不利影响。 ()

专利主权项内容

1.一种立式扩散炉尾气处理装置,其特征在于,其包括:
扩散炉本体(1),所述扩散炉本体(1)通过管道连接有输送管(2),所述输送管(2)的一端固定安装有风机(3),所述输送管(2)通过风机(3)连接有压缩机(4),所述压缩机(4)的输出端连接有尾气存储罐(5),所述尾气存储罐(5)通过管道连接有活性炭吸附组件(6),所述输送管(2)顶部的一侧开设有密封插槽(7),且密封插槽(7)延伸至输送管(2)的内壁上,所述输送管(2)通过密封插槽(7)滑动插接有T形密封板(8),所述输送管(2)的顶部位于密封插槽(7)的一侧开设有进气孔(15);
所述输送管(2)的顶部位于进气孔(15)与密封插槽(7)之间固定安装有电动伸缩杆(10),所述电动伸缩杆(10)的驱动端固定安装有活动板(11),所述活动板(11)底部的一侧固定安装有连接杆(9),且连接杆(9)的底端与T形密封板(8)的顶部固定连接,所述活动板(11)底部的另一侧固定安装有活动杆(22),所述活动杆(22)的底端固定安装有第一密封塞(14),且第一密封塞(14)与进气孔(15)相适配。。来自

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种立式扩散炉尾气处理装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202420521313.0
申请日 2024/3/18
公告号 CN222068280U
公开日 2024/11/26
IPC主分类号 F17D1/07
权利人 潍坊芯微电子设备有限公司
发明人 蔡宗捷; 朱滨泉; 苏新巍
地址 山东省潍坊市寿光市洛城街道茂昌街308号