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一种气体控制器及粒子计数器

申请号: CN202323658812.9
申请人: 江苏苏净集团有限公司; 苏州苏净仪器自控设备有限公司
更新日期: 2026-04-22

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种气体控制器及粒子计数器
专利类型 实用新型
申请号 CN202323658812.9
申请日 2023/12/29
公告号 CN222068289U
公开日 2024/11/26
IPC主分类号 F17D3/01
权利人 江苏苏净集团有限公司; 苏州苏净仪器自控设备有限公司
发明人 魏文龙; 曹海婷; 王陈燕; 姚欣
地址 江苏省苏州市工业园区唯新路2号; 江苏省苏州市工业园区唯新路2号

摘要文本

本实用新型公开了一种气体控制器及粒子计数器,其包括用于导入气流的进气管路、用于调节气流压力的针阀、用于导出气流的出气管路、第一过滤器、气流导管、浮子流量计、第二过滤器;进气管路、针阀、出气管路依次连通,第一过滤器、气流导管、第二过滤器依次连通,浮子流量计设置在气流导管上;第一过滤器还与出气管路连通,第二过滤器还与大气连通,气流导管上设置有单向排气阀,单向排气阀与气流导管的连接连通处位于第一过滤器与浮子流量计之间;本实用新型能够对高压气体进行降压控流且对不同进气压力的粒子有较好的一致性,当采样气流不足还可额外补充气流,可解决粒子计数器对高压气体采样时压力过高或流量不稳的问题,适用于粒子计数器。

专利主权项内容

1.一种气体控制器,其特征在于,该气体控制器包括用于导入气流的进气管路、用于调节气流压力的针阀、用于导出气流的出气管路、第一过滤器、气流导管、浮子流量计、第二过滤器;
所述进气管路、所述针阀、所述出气管路依次连通;
所述第一过滤器、所述气流导管、所述第二过滤器依次连通,所述浮子流量计设置在所述气流导管上;
所述第一过滤器还与所述出气管路连通,所述第二过滤器还与大气连通,所述气流导管上设置有单向排气阀,所述单向排气阀与所述气流导管的连接连通处位于所述第一过滤器与所述浮子流量计之间。