一种硅烷废气焚烧净化装置

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南京博纳能源环保集团有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种硅烷废气焚烧净化装置，包括顺次连接的焚烧炉、空冷器、水冷器、除尘器、脱硝反应器和烟囱；所述焚烧炉的尾部与空冷器的进气口相连，所述空冷器的出气口与水冷器的进气口相连；所述空冷器的入风口设置有燃烧风机，出风口连接至焚烧炉的顶部。本实用新型提供的硅烷废气焚烧净化装置在实现硅烷废气高效处理的同时降低了能耗及烟气温度，改善了除尘效果，保证了尾气中氮氧化物的超低排放，兼顾了经济性和环保性，有利于大规模推广应用。