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一种立式扩散炉炉管

申请号: CN202420521312.6
申请人: 潍坊芯微电子设备有限公司
更新日期: 2026-04-22

摘要文本

潍坊芯微电子设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种立式扩散炉炉管,包括炉管本体,所述炉管本体顶端安装有输气管,所述顶管底端与冷凝外壳和冷凝内箱顶端连接固定,所述冷凝外壳和冷凝内箱底端贯穿安装有排液管,所述冷凝外壳外壁上固定安装有散热翅片,所述冷凝外壳和冷凝内箱另一侧顶部贯穿安装有转移管,所述转移管底端与回流连接管末端连接,所述回流连接管安装在炉管本体另一侧底部,所述转移管底部安装有气泵。该立式扩散炉炉管,采用新型的结构设计,能够在生产过程中对含有腐蚀性物质的气体进行快速排出,并对其中的腐蚀性物质进行高效冷凝回收,并能够令除杂后的气体快速回流进入炉管参与生产,延长了炉管使用寿命的同时,提高了生产效率。

专利主权项内容

1.一种立式扩散炉炉管,包括炉管本体(1),其特征在于:所述炉管本体(1)顶端安装有输气管(2),所述炉管本体(1)一侧顶部安装有排气管(3),所述炉管本体(1)另一侧顶部固定有排出连接管(4),所述排出连接管(4)与顶管(5)一端连接,所述顶管(5)底端与冷凝外壳(6)和冷凝内箱(7)顶端连接固定,所述冷凝内箱(7)设置在冷凝外壳(6)内,所述冷凝外壳(6)和冷凝内箱(7)底端贯穿安装有排液管(8),所述冷凝外壳(6)外壁上固定安装有散热翅片(11),所述冷凝外壳(6)和冷凝内箱(7)另一侧顶部贯穿安装有转移管(13),所述转移管(13)底端与回流连接管(14)末端连接,所述回流连接管(14)安装在炉管本体(1)另一侧底部,所述转移管(13)底部安装有气泵(15)。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种立式扩散炉炉管
专利类型 实用新型
申请号 CN202420521312.6
申请日 2024/3/18
公告号 CN222069228U
公开日 2024/11/26
IPC主分类号 F27B1/10
权利人 潍坊芯微电子设备有限公司
发明人 蔡宗捷; 朱滨泉; 苏新巍
地址 山东省潍坊市寿光市洛城街道茂昌街308号