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一种立式扩散炉炉管
摘要文本
潍坊芯微电子设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种立式扩散炉炉管,包括炉管本体,所述炉管本体顶端安装有输气管,所述顶管底端与冷凝外壳和冷凝内箱顶端连接固定,所述冷凝外壳和冷凝内箱底端贯穿安装有排液管,所述冷凝外壳外壁上固定安装有散热翅片,所述冷凝外壳和冷凝内箱另一侧顶部贯穿安装有转移管,所述转移管底端与回流连接管末端连接,所述回流连接管安装在炉管本体另一侧底部,所述转移管底部安装有气泵。该立式扩散炉炉管,采用新型的结构设计,能够在生产过程中对含有腐蚀性物质的气体进行快速排出,并对其中的腐蚀性物质进行高效冷凝回收,并能够令除杂后的气体快速回流进入炉管参与生产,延长了炉管使用寿命的同时,提高了生产效率。
专利主权项内容
1.一种立式扩散炉炉管,包括炉管本体(1),其特征在于:所述炉管本体(1)顶端安装有输气管(2),所述炉管本体(1)一侧顶部安装有排气管(3),所述炉管本体(1)另一侧顶部固定有排出连接管(4),所述排出连接管(4)与顶管(5)一端连接,所述顶管(5)底端与冷凝外壳(6)和冷凝内箱(7)顶端连接固定,所述冷凝内箱(7)设置在冷凝外壳(6)内,所述冷凝外壳(6)和冷凝内箱(7)底端贯穿安装有排液管(8),所述冷凝外壳(6)外壁上固定安装有散热翅片(11),所述冷凝外壳(6)和冷凝内箱(7)另一侧顶部贯穿安装有转移管(13),所述转移管(13)底端与回流连接管(14)末端连接,所述回流连接管(14)安装在炉管本体(1)另一侧底部,所述转移管(13)底部安装有气泵(15)。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种立式扩散炉炉管 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420521312.6 |
| 申请日 | 2024/3/18 |
| 公告号 | CN222069228U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | F27B1/10 |
| 权利人 | 潍坊芯微电子设备有限公司 |
| 发明人 | 蔡宗捷; 朱滨泉; 苏新巍 |
| 地址 | 山东省潍坊市寿光市洛城街道茂昌街308号 |