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薄膜厚度量测设备
申请人信息
- 申请人:上海积塔半导体有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号
- 发明人: 上海积塔半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 薄膜厚度量测设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420428988.0 |
| 申请日 | 2024/3/6 |
| 公告号 | CN222069582U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | G01B11/06 |
| 权利人 | 上海积塔半导体有限公司 |
| 发明人 | 薛琬晴; 严翔; 闫晓晖 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路600号 |
摘要文本
上海积塔半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供了一种薄膜厚度量测设备，包括：载台，用于承载待检测产品；载台移动机构，用于调整载台的位置；第一光源，设于载台的第一侧上方，用于向待检测产品发射第一检测光；第一接收器，设于载台的第二侧上方，用于接收从待检测产品反射的第一反射光；第一光谱分析仪，设于载台的第二侧上方，用于对第一接收器接收到的第一反射光进行光谱分析；第二光源，设于载台的第二侧上方，用于向待检测产品发射第二检测光；第二接收器，设于载台的第一侧上方，用于接收从待检测产品反射的第二反射光；第二光谱分析仪，设于载台的第一侧上方，用于对第二接收器接收到的第二反射光进行光谱分析。本申请大大提高了薄膜厚度量测效率。
专利主权项内容
1.一种薄膜厚度量测设备，其特征在于，包括：
载台，用于承载待检测产品；
载台移动机构，用于调整所述载台的位置；
第一光源，设于所述载台的第一侧上方，用于向所述待检测产品发射第一检测光；
第一接收器，设于所述载台的第二侧上方，用于接收从所述待检测产品反射的第一反射光；
第一光谱分析仪，设于所述载台的第二侧上方，用于对所述第一接收器接收到的第一反射光进行光谱分析；
第二光源，设于所述载台的第二侧上方，用于向所述待检测产品发射第二检测光，所述第二检测光与所述第一检测光平行；
第二接收器，设于所述载台的第一侧上方，用于接收从所述待检测产品反射的第二反射光；
第二光谱分析仪，设于载台的第一侧上方，用于对所述第二接收器接收到的第二反射光进行光谱分析。