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光栅缺陷检测系统
申请人信息
- 申请人:舜宇奥来微纳光电信息技术(上海)有限公司
- 申请人地址:200120 上海市浦东新区康威路299号B区2楼
- 发明人: 舜宇奥来微纳光电信息技术(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 光栅缺陷检测系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420435868.3 |
| 申请日 | 2024/3/6 |
| 公告号 | CN222070480U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | G01N21/88 |
| 权利人 | 舜宇奥来微纳光电信息技术(上海)有限公司 |
| 发明人 | 刘丽; 纪登鑫; 沈健; 陈远 |
| 地址 | 上海市浦东新区康威路299号B区2楼 |
摘要文本
舜宇奥来微纳光电信息技术(上海)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种光栅缺陷检测系统。光栅缺陷检测系统包括：照明模块，照明模块用于出射检测光；参考光栅，参考光栅位于照明模块的出光侧，待检测光栅位于照明模块与参考光栅之间或者位于参考光栅远离照明模块的一侧；成像模块，成像模块位于参考光栅的出光侧，检测光经待检测光栅和参考光栅入射至成像模块中；其中，参考光栅的周期与待检测光栅的周期相同或不相同。本实用新型解决了现有技术中的光栅缺陷检测系统存在灵敏度差和精准性差的问题。。
专利主权项内容
1.一种光栅缺陷检测系统，其特征在于，包括：
照明模块，所述照明模块用于出射检测光；
参考光栅(4)，所述参考光栅(4)位于所述照明模块的出光侧，待检测光栅(3)位于所述照明模块与所述参考光栅(4)之间或者位于所述参考光栅(4)远离所述照明模块的一侧；
成像模块，所述成像模块位于所述参考光栅(4)的出光侧，所述检测光经所述待检测光栅(3)和所述参考光栅(4)入射至所述成像模块中；
其中，所述参考光栅(4)的周期与所述待检测光栅(3)的周期相同或不相同。 （）