一种MEMS针卡调平设备

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沈阳圣仁电子科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种MEMS针卡调平设备，包括调平基座和MEMS针卡，所述MEMS针卡的底面设有若干调平柱，所述调平基座的底面设有轨道支撑座，所述轨道支撑座上安装有位置调整机构，所述位置调整机构安装有调平电机，所述调平基座上开设有调整通道。所述调平柱呈空心，所述调平电机的输出端安装有插接柱，且插接柱与调平柱的开孔配合。通过设置可以在X、Y和Z轴上进行位置调整的调平设备，使得MEMS针卡在任意方向上出现偏移时，都能够得到调平处理。并通过平整度激光测量器的配合，对调平前后的MEMS针卡进行平整度对比测量。通过设置能够相互配合的调平柱和插接柱，使得调平后的MEMS探针卡能够更加的稳定，便于后续进行MEMS探针卡对于裸芯的测试。