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一种用于测量陶瓷基板溅射层电阻的设备
申请人信息
- 申请人:北京元六鸿远电子科技股份有限公司
- 申请人地址:100070 北京市丰台区海鹰路1号院5号楼3层3-2(园区)
- 发明人: 北京元六鸿远电子科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于测量陶瓷基板溅射层电阻的设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420105009.8 |
| 申请日 | 2024/1/16 |
| 公告号 | CN222070671U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | G01R1/04 |
| 权利人 | 北京元六鸿远电子科技股份有限公司 |
| 发明人 | 李子硕; 张守谦; 陈喆; 王帅; 杨珊珊 |
| 地址 | 北京市丰台区海鹰路1号院5号楼3层3-2(园区) |
摘要文本
北京元六鸿远电子科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种用于测量陶瓷基板溅射层电阻的设备，包括支架；所述支架设有Y轴直线电机；所述Y轴直线电机的Y轴滑块设有X轴直线电机；所述X轴直线电机的X轴滑块设有测量气缸；所述测量气缸设有测量探头，测量探头与电阻测量仪连接，用于测量溅射层电阻；所述测量探头下方的所述支架设有放料台，用于放置待测量陶瓷基板。本实用新型具有节省人力、测试准确度一致度高，且不会对陶瓷基板带来划伤等优点。
专利主权项内容
1.一种用于测量陶瓷基板溅射层电阻的设备，其特征在于，包括支架(1)；所述支架(1)设有Y轴直线电机(2)；所述Y轴直线电机(2)的Y轴滑块(201)设有X轴直线电机(3)；所述X轴直线电机(3)的X轴滑块(301)设有测量气缸(4)；所述测量气缸(4)设有测量探头(5)，测量探头(5)与电阻测量仪连接，用于测量溅射层电阻；所述测量探头(5)下方的所述支架(1)设有放料台(7)，用于放置待测量陶瓷基板。