具有类钻碳镀层的导电耐磨探针

专利主权项内容

1.一种具有类钻碳镀层的导电耐磨探针，包含一探针头结构、一模块化元件及一弹性结构，该模块化元件内置该弹性结构，且该探针头结构组接于该模块化元件一端并嵌接该弹性结构，于操控该模块化元件检测一待测物时，该弹性结构减缓该待测物与该探针头结构间的施加力，其特征在于：
该探针头结构呈不平整圆柱状设置而设有一前端部、一中端部及一后端部，该中端部两侧分别连接该前端部及该后端部，且该中端部圆面截面积小于该前端部而大于该后端部；该中端部近连接该后端部处设有一组接沟槽，以供组接该模块化元件，而该后端部的后端以一角度朝中心点方向收敛而形成圆锥状；
该探针头结构由一合金底材制成而于该前端部设有复数个尖锐凸肋，每一该尖锐凸肋分别具有至少一斜切部而使每一该尖锐凸肋间具有一夹角，且该探针头结构于该合金底材表面上由下至上依序设置一镍磷合金镀层、一金合金镀层及一类钻碳镀层。