一种多长度磁控溅射阴极磁棒测试设备

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昆山晟成光电科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种多长度磁控溅射阴极磁棒测试设备，包括基座、旋转驱动组件和磁场检测组件；基座上设有X向滑轨；旋转驱动组件包括设于基座一侧的旋转端头、沿着X向滑轨调节位置的从动端以及位于旋转端头与从动端之间的固定方钢，旋转端头的轴线与从动端的轴线位于同一条X向轴上，固定方钢的上表面固定阴极磁棒；固定方钢的X向两端分别设置有第一转轴和第二转轴，第一转轴与第二转轴共轴线，旋转端头包括三个绕轴均布的夹爪，三个夹爪夹住第一转轴的圆柱面，从动端抵住第二转轴的端部。本设备能够连续地采集阴极磁棒外各个位置的磁场强度和方向，从而快速绘制出磁场平面云图和矢量图，可以快速验证溅射角度是否符合实际值。