一种用于光学平台的调节组件及光学平台

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上海诺睿科半导体设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供的一种用于光学平台的调节组件及光学平台，其中调节组件包括调节支撑座、支撑顶头以及调节支撑顶座件。调节支撑座的第一表面设置有第一通孔，支撑顶头的第一端设置于第一通孔内，且连接深度可调节，其第二端为球状，且设置有第二通孔。调节支撑顶座件的第二表面设置有形状适配于支撑顶头的第二端的槽，调节支撑顶座件相对于第二通孔的位置处设置有第三通孔，定位件穿过第三通孔至第二通孔，以连接调节支撑顶座件与支撑顶头。光学平台架设于调节支撑顶座件的第一表面。通过三个调节组件共同支撑光学平台，通过三点定位实现对光学平台水平程度以及光学平台与下方机台之间的距离的调节。