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涂胶显影装置
申请人信息
- 申请人:上海积塔半导体有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号
- 发明人: 上海积塔半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 涂胶显影装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420132860.X |
| 申请日 | 2024/1/19 |
| 公告号 | CN222071044U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | G03F7/16 |
| 权利人 | 上海积塔半导体有限公司 |
| 发明人 | 俞江勇 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路600号 |
摘要文本
上海积塔半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种涂胶显影装置，所述涂胶显影装置包括平台、钟形罩、承载部件、进气部件和发泡气源；所述平台和所述钟形罩形成反应腔；所述承载部件设置在所述反应腔内，用于承载待加工晶片；所述进气部件包括第一管路和设置于所述第一管路的HMDS流量计，所述第一管路贯穿所述钟形罩，用于将所述发泡气源的HMDS通入所述反应腔内；所述HMDS流量计为数字式流量传感器。本实用新型的涂胶显影装置采用数字式流量传感器控制和监测通入反应腔的HMDS流量，降低HMDS流量的同时，减少装置误报警的发生，降低半导体加工工序的成本。 微信公众号
专利主权项内容
1.一种涂胶显影装置，其特征在于，包括平台、钟形罩、承载部件、进气部件和发泡气源；
所述平台和所述钟形罩形成反应腔；
所述承载部件设置在所述反应腔内，用于承载待加工晶片；
所述进气部件包括第一管路和设置于所述第一管路的HMDS流量计，所述第一管路贯穿所述钟形罩，用于将所述发泡气源的HMDS通入所述反应腔内；
所述HMDS流量计为数字式流量传感器。