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一种高性能优质合金靶材

申请号: CN202420632011.0
申请人: 领科元素(山东)技术有限公司
更新日期: 2026-04-22

摘要文本

领科元素(山东)技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型提供一种高性能优质合金靶材,涉及合金靶材技术领域,包括真空玻璃仓,所述真空玻璃仓的内腔中部安装有阳极靶旋转组件,所述阳极靶旋转组件上安装有合金靶材本体,所述真空玻璃仓的前侧内腔中安装有匹配合金靶材本体使用的阴极组件。本实用新型钨铼靶面的设置目的在于铼金属的分布均匀性好,能够在与钨金属结合后能够形成晶粒更加均匀的靶面,进而能够提高靶面的承受能力,其用作X射线产生层性能更好,使用寿命更长,且通过第一定子转子组件转动带动轴杆和轴杆上的圆形钨面钼耙转动,驱使圆形钨面钼耙转动一定角度,进而在阴极电子枪第二次照射时由另一个钨铼靶面进行工作,进一步延长了阳极靶整体的使用寿命。 (来自 )

专利主权项内容

1.一种高性能优质合金靶材,其特征在于:包括真空玻璃仓(1),所述真空玻璃仓(1)的内腔中部安装有阳极靶旋转组件(2),所述阳极靶旋转组件(2)上安装有合金靶材本体(3),所述真空玻璃仓(1)的前侧内腔中安装有匹配合金靶材本体(3)使用的阴极组件(4);
所述合金靶材本体(3)包括两个圆形钨面钼耙(301),所述圆形钨面钼耙(301)的外表面覆盖有钨膜层,两个所述圆形钨面钼耙(301)之间安装有钼靶(302),所述钼靶(302)共有四个且均布安装在两个圆形钨面钼耙(301)之间,所述钼靶(302)的外侧斜面上覆盖有钨铼靶面(304),所述钼靶(302)的其余外壁面覆盖有钨面层(303)。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种高性能优质合金靶材
专利类型 实用新型
申请号 CN202420632011.0
申请日 2024/3/29
公告号 CN222071861U
公开日 2024/11/26
IPC主分类号 H01J35/10
权利人 领科元素(山东)技术有限公司
发明人 高峻峰
地址 山东省德州市天衢新区袁桥镇东方红东路6596号(中元科技创新创业园)E座南楼719室