晶圆圆心测算用摄像装置

专利主权项内容

1.晶圆圆心测算用摄像装置，用于对晶圆(100)进行检测，其特征在于，包括：
支撑机构(1)，包括底座(11)、支撑架(12)和承载台(13)，所述支撑架(12)与所述承载台(13)均设置于所述底座(11)的一侧，所述承载台(13)与所述底座(11)转动连接，所述承载台(13)能够绕自身轴线转动；
调节机构(2)，与所述支撑架(12)连接，所述调节机构(2)包括连接板(21)、安装板(22)、螺栓座(24)、导向杆(26)和调节螺栓(23)，所述连接板(21)与所述支撑架(12)连接，所述连接板(21)设置有第一容置孔(211)，所述安装板(22)设置有第二容置孔(221)和调节孔(222)，所述导向杆(26)的两端分别设置于所述第一容置孔(211)和所述第二容置孔(221)，所述调节螺栓(23)与所述调节孔(222)螺接且与所述螺栓座(24)卡接，所述螺栓座(24)能够使所述调节螺栓(23)只能沿自身轴线转动，当所述调节螺栓(23)转动时，所述安装板(22)能够沿所述导向杆(26)移动；
成像机构(3)，与所述安装板(22)连接，所述成像机构(3)包括相机(31)。