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一种具有喷淋防护罩的清洗设备

申请号: CN202323448585.7
申请人: 常州捷佳创精密机械有限公司
更新日期: 2026-04-22

摘要文本

常州捷佳创精密机械有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型属于硅片清洗技术领域,具体涉及一种具有喷淋防护罩的清洗设备,本装置包括:清洗箱体,清洗箱体内设置有一对支撑架,支撑架上转动设置有若干传动辊,传动辊的上方设置有若干第一药液管道,第一药液管道上焊接有若干喷淋嘴,喷淋嘴朝向传动辊;罩设在第一药液管道外侧的防护罩,防护罩内部中空,并且防护罩的顶部倾斜设置,以使溅射在防护罩顶部的药液能够被引导滴落;简言之,通过第一药液管道和喷淋嘴,能够将药液喷淋至传动辊顶部的硅片的表面,完成硅片的表面的喷淋;进一步的,通过罩设在第一药液管道的外侧的防护罩,能够收集溅射的药液,避免药液溅射至设备外部,结构简单可靠,提高了使用的便利性。 数据由马 克 数 据整理

专利主权项内容

来源:马 克 团 队 1.一种具有喷淋防护罩(104)的清洗设备,其特征在于,包括:
清洗箱体(100),所述清洗箱体(100)内设置有一对支撑架(101),所述支撑架(101)上转动设置有若干传动辊(102),所述传动辊(102)的上方设置有若干第一药液管道(103),所述第一药液管道(103)上焊接有若干喷淋嘴(1031),所述喷淋嘴(1031)朝向所述传动辊(102);
罩设在所述第一药液管道(103)外侧的防护罩(104),所述防护罩(104)内部中空,并且所述防护罩(104)的顶部倾斜设置,以使溅射在所述防护罩(104)顶部的药液能够被引导滴落。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种具有喷淋防护罩的清洗设备
专利类型 实用新型
申请号 CN202323448585.7
申请日 2023/12/18
公告号 CN222071874U
公开日 2024/11/26
IPC主分类号 H01L21/67
权利人 常州捷佳创精密机械有限公司
发明人 左国军; 万红朝; 刘洪勇; 滕彬
地址 江苏省常州市新北区黄河西路790号