一种晶圆的夹持固定装置

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湖北江城芯片中试服务有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种晶圆的夹持固定装置，涉及半导体制造技术领域，该夹持固定装置包括支架、吸附卡盘和多个夹持顶针，吸附卡盘用于吸附晶圆，且吸附卡盘具有通孔；支架支撑夹持顶针，且夹持顶针能够穿过通孔顶升夹持晶圆；其中，夹持顶针包括支撑部和限位部，支撑部用于支撑晶圆，至少部分限位部的侧面能够与晶圆的侧面相接触，用于夹持晶圆。通过结构的改进能够有效避免晶圆出现滑片的问题，从而避免晶圆的损坏。