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一种用于太阳能硅片刻蚀设备的化学品自动添加装置
摘要文本
杭州库睿斯半导体设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种用于太阳能硅片刻蚀设备的化学品自动添加装置，包括添加桶、设置于添加桶上方的顶盖、设置于添加桶底部的底板，所述顶盖上中心位置设有第一安装圆孔，所述顶盖上位于第一安装圆孔一侧还设有连接孔，所述底板上中心位置设有第二安装圆孔，所述第一安装圆孔上安装有第一连接管路，所述第一连接管路上设有第一气动阀，所述第二安装圆孔上设有第二连接管路，所述第二连接管路上安装第二气动阀，所述连接孔上设有第三连接管路，所述第三连接管路上还安装有电容开关，所述添加桶桶身上还设有螺纹孔，所述螺纹孔位置处安装有压力传感器；有益效果，同时可以满足不同化学品自动添加工作，化学耐受性高，适应性和实用性强，成本低。
专利主权项内容
1.一种用于太阳能硅片刻蚀设备的化学品自动添加装置，其特征在于，包括添加桶(1)、设置于添加桶(1)上方的顶盖(2)、设置于添加桶(1)底部的底板(3)，所述顶盖(2)上中心位置设有第一安装圆孔(4)，所述顶盖(2)上位于第一安装圆孔(4)一侧还设有连接孔(5)，所述底板(3)上中心位置设有第二安装圆孔(6)，所述第一安装圆孔(4)上安装有第一连接管路(7)，所述第一连接管路(7)上设有第一气动阀(8)，所述第二安装圆孔(6)上设有第二连接管路(9)，所述第二连接管路(9)上设有第二气动阀(10)，所述连接孔(5)上设有第三连接管路(11)，所述第三连接管路(11)上还安装有电容开关(12)，所述添加桶(1)桶身上还设有螺纹孔(13)，所述螺纹孔(13)位置处安装有压力传感器(14)。 微信公众号马克 数据网
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于太阳能硅片刻蚀设备的化学品自动添加装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323387023.6 |
| 申请日 | 2023/12/12 |
| 公告号 | CN222071962U |
| 公开日 | 2024/11/26 |
| IPC主分类号 | H01L31/18 |
| 权利人 | 杭州库睿斯半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 达良; 李冰; 代昊天 |
| 地址 | 浙江省杭州市钱塘区河庄街道青西二路1099号综合楼602-172号 |