具有螺旋结构的直流电阻加热器及SiC单晶生长装置

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广州南砂晶圆半导体技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供一种具有螺旋结构的直流电阻加热器及SiC单晶生长装置，其中的直流电阻加热器采用螺旋结构设计，通过调整螺旋结构轴向不同位置处的螺距，从而控制轴向不同位置处的发热量，使得中部发热体轴向单位长度的发热量大于底部发热体轴向单位长度的发热量，如此，在应用时，可以在底部物料与中上部物料之间形成轴向温度梯度，底部物料的温度低于中上部物料的温度，因而底部分解的SiC气相组分在上升过程中不会在温度较高的物料表面结晶，而是直接进入生长腔体内，并通过扩散或对流在籽晶上结晶，提高晶体的生长速度。