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一种应用于CMP抛光液制备的防堵塞过滤装置
申请人信息
- 申请人:东莞市粤成新材料有限公司
- 申请人地址:523000 广东省东莞市大朗镇高英村松仔路13号昌本科技园A座4楼
- 发明人: 东莞市粤成新材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种应用于CMP抛光液制备的防堵塞过滤装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420603034.9 |
| 申请日 | 2024/3/27 |
| 公告号 | CN222076051U |
| 公开日 | 2024/11/29 |
| IPC主分类号 | B01D29/64 |
| 权利人 | 东莞市粤成新材料有限公司 |
| 发明人 | 黎持荣; 饶美情 |
| 地址 | 广东省东莞市大朗镇高英村松仔路13号昌本科技园A座4楼 |
摘要文本
东莞市粤成新材料有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种应用于CMP抛光液制备的防堵塞过滤装置，包括过滤炉，所述过滤炉的上表面开设有上开口，所述上开口的上表面开设有搭槽，所述搭槽的上表面搭接有连接杆。该应用于CMP抛光液制备的防堵塞过滤装置，通过过滤炉、转动套和刮板的设置，CMP抛光液进入过滤炉内的过滤框上，四分之三通过过滤框进行过滤，四分之一通过储纳口处的组件进行过滤，启动安装柱上的电机，带动转动杆上转动套所连接的刮板在过滤框上进行刮动转动，将过滤框表面凝胶刮进储纳口，保持四分之三的正常过滤，最后拿出冲洗储纳块内的凝胶通过排出口排出即可，能够提高过滤框的洁净度和过滤质量，避免因凝胶滞留表面的堵塞，延长过滤框使用年限。
专利主权项内容
1.一种应用于CMP抛光液制备的防堵塞过滤装置，包括过滤炉(1)，其特征在于：所述过滤炉(1)的上表面开设有上开口(2)，所述上开口(2)的上表面开设有搭槽(3)，所述搭槽(3)的上表面搭接有连接杆(4)；
所述连接杆(4)的一端固定连接有过滤框(5)，所述过滤框(5)的下表面固定连接有储纳块(6)，所述过滤框(5)的尺寸是储纳块(6)尺寸的四倍，所述储纳块(6)与过滤框(5)的连接处开设有储纳口(7)，所述储纳块(6)的下表面开设有排出口(8)，所述过滤框(5)上表面的中部转动连接有转动杆(9)，所述转动杆(9)的上表面固定连接有安装柱(10)，所述安装柱(10)的中部安装有电机(11)，所述电机(11)的输出端与转动杆(9)呈固定连接，所述转动杆(9)的外表面固定连接有转动套(12)，所述转动套(12)的外表面固定连接有刮板(13)。。 （）