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废气处理装置及半导体废气处理系统
申请人信息
- 申请人:北京京仪自动化装备技术股份有限公司
- 申请人地址:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
- 发明人: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 废气处理装置及半导体废气处理系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323456330.5 |
| 申请日 | 2023/12/18 |
| 公告号 | CN222076285U |
| 公开日 | 2024/11/29 |
| IPC主分类号 | B01D53/78 |
| 权利人 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 发明人 | 张坤 |
| 地址 | 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座 |
摘要文本
本实用新型涉及废气处理技术领域，提供一种废气处理装置及半导体废气处理系统，废气处理装置包括反应腔、冷却腔和洗涤腔，冷却腔与反应腔连通，用于对反应腔中的废气进行冷却，洗涤腔与冷却腔连通，洗涤腔的数量为多个，且多个洗涤腔之间串联连接，至少其中一个洗涤腔内设置有分流导风件。洗涤腔数量为多个，并且它们之间是串联连接的，这种设计可以增加废气与喷淋水的接触面积，提高洗涤效果。其中至少一个洗涤腔内设置了分流导风件，其作用是将废气分散均匀，确保废气在洗涤腔中得到充分处理。分散后的废气进入洗涤腔，通过与喷淋水的接触，去除颗粒物和其他污染物，从而防止管路或设备堵塞，延长设备维护周期。。更多数据：搜索
专利主权项内容
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：
反应腔(100)；
冷却腔(200)，与所述反应腔(100)连通，用于对所述反应腔(100)中的废气进行冷却；
洗涤腔(300)，与所述冷却腔(200)连通，所述洗涤腔(300)的数量为多个，且多个所述洗涤腔(300)之间串联连接，至少其中一个所述洗涤腔(300)内设置有分流导风件(400)。