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一种硅片研磨液的搅拌装置
申请人信息
- 申请人:天津洙诺科技有限公司
- 申请人地址:300000 天津市西青区西青学府工业园区学府西路2号西区D6号厂房2门101
- 发明人: 天津洙诺科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅片研磨液的搅拌装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420434082.X |
| 申请日 | 2024/3/7 |
| 公告号 | CN222076347U |
| 公开日 | 2024/11/29 |
| IPC主分类号 | B01F27/70 |
| 权利人 | 天津洙诺科技有限公司 |
| 发明人 | 高萌 |
| 地址 | 天津市西青区西青学府工业园区学府西路2号西区D6号厂房2门101 |
摘要文本
本实用新型公开了一种硅片研磨液的搅拌装置，属于硅片研磨液技术领域，该一种硅片研磨液的搅拌装置，包括储存机构，储存机构包括支撑件和储存仓，是储存仓通过仓体安装在支撑件上，搅拌机构，搅拌机构包括混合件和辅助混合件，混合件贯穿安装在仓体的内部一侧，辅助混合件贯穿安装在仓体的另一侧，且辅助混合件传动安装在混合件的内部，混合件和辅助混合件分别通过第一电机和第二电机传动，混合件配合辅助混合件对储存仓内部的研磨液进行快速混合，同时根据需要进行调节转速和转动的方向增加混合的效果，增加了搅拌的效率，提高了研磨液的质量，同时方便根据需要进行调节进混合，混合的模式较多。
专利主权项内容
1.一种硅片研磨液的搅拌装置，其特征在于，包括
储存机构，所述储存机构包括支撑件和储存仓，是储存仓通过仓体安装在所述支撑件上；
搅拌机构，所述搅拌机构包括混合件和辅助混合件，所述混合件贯穿安装在所述仓体的内部一侧，所述辅助混合件贯穿安装在所述仓体的另一侧，且所述辅助混合件传动安装在所述混合件的内部，所述混合件和所述辅助混合件分别通过第一电机和第二电机传动。