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硅片棱边缺陷检测装置及硅片分选机
申请人信息
- 申请人:广东金湾高景太阳能科技有限公司; 珠海广浩捷科技股份有限公司
- 申请人地址:519090 广东省珠海市金湾区三灶镇湖滨路1566号
- 发明人: 广东金湾高景太阳能科技有限公司; 珠海广浩捷科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 硅片棱边缺陷检测装置及硅片分选机 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420794105.8 |
| 申请日 | 2024/4/16 |
| 公告号 | CN222280503U |
| 公开日 | 2024/12/31 |
| IPC主分类号 | G01N21/892 |
| 权利人 | 广东金湾高景太阳能科技有限公司; 珠海广浩捷科技股份有限公司 |
| 发明人 | 周禹; 付明全; 全晓冬; 陈康; 王成坤; 张天华 |
| 地址 | 广东省珠海市金湾区三灶镇湖滨路1566号; 广东省珠海市金湾区红旗镇金康路19号 |
摘要文本
广东金湾高景太阳能科技有限公司; 珠海广浩捷科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及检测设备领域，尤其是涉及一种硅片棱边缺陷检测装置及硅片分选机。硅片棱边缺陷检测装置包括棱边检测光源、倒角检测光源和检测相机；所述棱边检测光源与所述硅片的侧棱边相对，以使所述棱边检测光源发出的光被所述侧棱边反射进入所述检测相机的镜头；所述倒角检测光源与所述硅片的倒角边相对，以使所述倒角检测光源发出的光被所述倒角边反射进入所述检测相机的镜头。本申请提供的硅片棱边缺陷检测装置，检测覆盖范围更全面，可消除硅片崩边的漏检风险；检测光源的光路直接打在硅片上，无需通过棱镜等光学元件及光路限定元件对光路进行调节，调整更便捷且有效减少了硅片检测过程的碰撞风险。 （来 自 ）
专利主权项内容
1.一种硅片棱边缺陷检测装置，其特征在于，包括棱边检测光源、倒角检测光源和检测相机；
所述棱边检测光源与所述硅片的侧棱边相对，以使所述棱边检测光源发出的光被所述侧棱边反射进入所述检测相机的镜头；
所述倒角检测光源与所述硅片的倒角边相对，以使所述倒角检测光源发出的光被所述倒角边反射进入所述检测相机的镜头。