一种晶圆标识检测设备

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马达西奇(苏州)智能装备科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及检测设备领域，尤其涉及一种晶圆标识检测设备。包括安装盘和检测架。其中，安装盘顶端被构造为安装面，中部开设有检测槽，所述检测槽提供被检测产品的容纳空间；检测架具有对应检测槽设置的夹持端，所述夹持端用于夹持检测设备；其中，安装盘顶端具有围绕检测槽的多个安装孔，所述检测架与任意相邻的安装孔配合，使其对应被检测产品具有多个不同的方位角；所述夹持端通过调节部与安装盘连接，所述调节部带动夹持端沿水平面运动以及围绕水平轴线进行俯仰运动。本申请通过将安装有检测设备的夹持端设置在调节部上，使得检测设备可以在水平面移动，并围绕一水平轴线进行俯仰运动，从而使得检测设备可以对不同位置的标识进行识别。