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用于晶圆测试的卡具
申请人信息
- 申请人:杭州长川科技股份有限公司
- 申请人地址:310051 浙江省杭州市滨江区聚才路410号
- 发明人: 杭州长川科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 用于晶圆测试的卡具 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420326714.0 |
| 申请日 | 2024/2/22 |
| 公告号 | CN222280773U |
| 公开日 | 2024/12/31 |
| IPC主分类号 | G01R31/28 |
| 权利人 | 杭州长川科技股份有限公司 |
| 发明人 | 胡楠; 何松; 叶波; 胡鹏飞 |
| 地址 | 浙江省杭州市滨江区聚才路410号 |
摘要文本
杭州长川科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术， （来自 ） 本公开涉及用于晶圆测试的卡具。该卡具包括：吸盘，具有吸取面；绝缘导热盘，位于吸盘背向吸取面的一侧；控温盘，位于绝缘导热盘背向吸盘的一侧，控温盘、绝缘导热盘及吸盘依次导热连接；以及绝缘连接件，穿过绝缘导热盘将吸盘与控温盘固定。该卡具可以避免吸盘承受的电压击穿到控温盘。
专利主权项内容
1.用于晶圆测试的卡具，其特征在于，包括：
吸盘(1)，具有吸取面(101)；
绝缘导热盘(2)，位于所述吸盘(1)背向所述吸取面(101)的一侧；
控温盘(3)，位于所述绝缘导热盘(2)背向所述吸盘(1)的一侧，所述控温盘(3)、所述绝缘导热盘(2)及所述吸盘(1)依次导热连接；以及
绝缘连接件(8)，穿过所述绝缘导热盘(2)将所述吸盘(1)与所述控温盘(3)固定。