一种光波导结构

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慕德微纳(杭州)科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及一种光波导结构，其包括玻璃基底、由减薄晶圆组成的光波导层、以及填充层，所述光波导层的折射率高于所述玻璃基底和填充层的折射率，所述光波导层键合设置于所述玻璃基底上，且所述光波导层背离玻璃基底的表面具有刻蚀光栅结构，所述填充层嵌设于所述刻蚀光栅结构的刻蚀间隙内，且所述填充层和刻蚀光栅结构的外侧表面近似的处于同一平面上、和/或所述填充层遮盖所述刻蚀光栅结构的外侧表面。本实用新型通过以玻璃基底作为光波导基底，经过键合、减薄的高折射率晶圆作为光波导层，以便形成预定的刻蚀光栅结构，并辅以较低折射率填充层填充刻蚀光栅结构的刻蚀间隙，在提高出光效率、保证耦出均匀性、降低彩虹纹的同时，具有工艺稳定、易于量产的优势，适合大批量工艺化生产。