微波等离子喷枪

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上海凯世通半导体股份有限公司; 上海临港凯世通半导体有限公司; 北京凯世通半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种用于离子注入机的微波等离子喷枪，其包括微波发生器、波导组件、等离子体腔室、工作气体供给装置以及介质管和导电杆。其中，介质管的开口端设置在等离子体腔室的外部并连接至波导组件，封闭端设置在等离子体腔室的内部；导电杆是空心的并且共轴地设置在介质管的内腔，其第一端延伸至介质管的开口端，第二端则延伸至介质管的封闭端。本实用新型的微波等离子喷枪，不仅可以大大降低金属污染，而且其提供的电子分布均匀，能够更好地实现电荷中和反应。