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一种刻蚀机的压环
摘要文本
无锡智远芯半导体设备技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及刻蚀机技术领域，公开了一种刻蚀机的压环，包括：压环主体、硅片放置板和硅片，所述硅片放置板顶部放置有硅片，所述硅片上方设有压环主体，所述压环主体内侧设有内凸压爪，所述压环主体外侧设有安装耳，所述安装耳底端设有连接板，所述连接板底部设有弹性橡胶，所述弹性橡胶底部设有接触板，所述压环主体底部设有定位环，本实用新型随着升降气缸的慢速下降，能够减少后续内凸压爪对硅片产生的冲击力，当压环继续下降，弹性橡胶受力压缩，直至内凸压爪与硅片接触达到压紧力度，通过弹性橡胶的缓冲，进一步减少内凸压爪下降时对硅片产生的冲击力，保证内凸压爪平稳的压在硅片上，减少硅片的损伤。 该数据由<>整理
专利主权项内容
1.一种刻蚀机的压环，包括：压环主体(1)、硅片放置板(8)和硅片(9)，其特征在于：所述硅片放置板(8)顶部放置有硅片(9)，所述硅片(9)上方设有压环主体(1)，所述压环主体(1)内侧设有内凸压爪(2)，所述压环主体(1)外侧设有安装耳(3)，所述安装耳(3)底端设有连接板(4)，所述连接板(4)底部设有弹性橡胶(5)，所述弹性橡胶(5)底部设有接触板(6)，所述压环主体(1)底部设有定位环(7)，所述定位环(7)内径与硅片(9)的外径相同。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种刻蚀机的压环 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420545740.2 |
| 申请日 | 2024/3/20 |
| 公告号 | CN222281937U |
| 公开日 | 2024/12/31 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 无锡智远芯半导体设备技术有限公司 |
| 发明人 | 张其峰 |
| 地址 | 江苏省无锡市高浪东路999号A1栋8楼812室 |