一种用于衬底的加工装置

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研微(江苏)半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种用于衬底的加工装置，包括传送室和加工室，加工室被配置为对衬底进行加工；传送室被配置为向加工室传送衬底或自加工室将衬底移出；传送室内设置驱动装置，驱动装置与机械臂组件连接，机械臂组件包括连杆和手指，手指设置在连杆的端部，手指被配置为在机械臂组件移动衬底时承载衬底；传送室内设置光学传感器，连杆上设置入射部，光学传感器被配置为与入射部配合以给出连杆是否抵达目标位置的信息。本实用新型实施例基于光学传感器通过收发光学信号进而判断机械臂组件的位置，减少了机械臂组件的体积和厚度，使其在竖直方向上的移动范围变大，对提高衬底的生产效率具有积极作用。