一种用于半导体设备的供电结构

专利主权项内容

1.一种用于半导体设备的供电结构，所述半导体设备包括至少一个机台，每个所述机台包括多个用电器件，其特征在于，所述供电结构包括：
厂务端配电，所述厂务端配电与供电端连接，用于向半导体设备的所有机台配电；
至少一个机台断路器，所述机台断路器与所述厂务端配电连接，用于实现对对应机台进行供电控制；
至少一个电流补偿装置，所述电流补偿装置分别与所述机台断路器及与所述多个用电器件连接，用于消除所述用电器件产生的杂波干扰；
所述电流补偿装置包括一个矩阵类别的滤波电路和控制器，所述控制器分别与所述机台断路器、所述滤波电路及所述机台的多个用电器件连接，用于根据所述用电器件产生的杂波，对所述滤波电路进行调节控制，所述滤波电路还与所述机台连接，用于消除所述用电器件产生的杂波干扰。